＜図書＞
Surface science technology series
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | 東京 : リアライズ社 |
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| 1 | 3 シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修 東京 : リアライズ社 , 1996.6 |
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| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 書誌ID | 1000005446 |
| NCID | BN14827776 |