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<図書>
入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳
ニュウモン シンクウ ハクマク スパッタリング

データ種別 図書
出版者 東京 : 技報堂出版
出版年 1985.10
大きさ 2,2,3,145p ; 22cm

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千住 一般
571/St9 9201349447
4765503585
東京西 2F一般
571/St9 8901104359
4765503585

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本文言語 日本語
別書名 原タイトル:Vacuum technology, thin films, and sputtering
異なりアクセスタイトル:真空・薄幕・スパッタリング : 入門
著者標目 Stuart, R. V. 著
毛利, 衛 <モウリ, マモル>
数坂, 昭夫 <カズサカ, アキオ>
件 名 NDLSH:真空工学
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:534.93
NDLC:NB126
書誌ID 2000000118
ISBN 4765503585
NCID BN00148324

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