<図書>
「半導体立国」日本 : 独創的な装置が築きあげた記録 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ リッコク ニホン : ドクソウテキ ナ ソウチ ガ キズキアゲタ キロク
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1991.11 |
大きさ | xii, 403p ; 20cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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千住 一般 |
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549.8/N71 | 9201367472 |
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4526030422 |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 |
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549.8/N71 | 9904043875 |
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4526030422 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 監修: 垂井康夫 |
著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
件 名 | BSH:半導体 NDLSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.8 |
書誌ID | 2000009064 |
ISBN | 4526030422 |
NCID | BN07021660 |