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<図書>
VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
(電子材料シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1986.9
大きさ xii, 250p ; 22cm

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東京西 2F一般
549.7/I89 8901054216
4621031120

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本文言語 日本語
一般注記 各章末:文献
著者標目 伊藤, 隆司 <イトウ, タカシ>
石川, 元 <イシカワ, ハジメ>
中村, 宏昭 <ナカムラ, ヒロアキ>
件 名 BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
書誌ID 2000012681
ISBN 4621031120
NCID BN00435789

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