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<図書>
VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
(
電子材料シリーズ
)
データ種別
図書
出版者
東京 : 丸善
出版年
1986.9
大きさ
xii, 250p ; 22cm
所蔵情報を非表示
東京西キャンパス
配架場所
巻 次
請求記号
登録番号
状 態
コメント
ISBN
利用注記
予約
東京西 2F一般
549.7/I89
8901054216
4621031120
予約
予約
書誌詳細を表示
本文言語
日本語
一般注記
各章末:文献
著者標目
伊藤, 隆司
<イトウ, タカシ>
石川, 元
<イシカワ, ハジメ>
中村, 宏昭
<ナカムラ, ヒロアキ>
件 名
BSH:
集積回路
BSH:
薄膜
NDLSH:
集積回路
NDLSH:
薄膜
分 類
NDC8:
549.7
NDC7:
549.8
NDLC:
ND386
書誌ID
2000012681
ISBN
4621031120
NCID
BN00435789
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