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<図書>
最新機能成膜プロセス技術 : エレクトロニクスにおける機能膜作製技術 / 逢坂哲彌,二瓶公志編集
サイシン キノウ セイマク プロセス ギジュツ : エレクトロニクス ニ オケル キノウマク サクセイ ギジュツ

データ種別 図書
出版者 東京 : 広信社
出版年 1987.6
大きさ 862p ; 27 cm

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東京西 2F一般
549/O73 9001273516


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一般注記 各章末:文献
著者標目 逢坂, 哲彌 <オオサカ, テツヤ>
二瓶, 公志(1937-) <ニヘイ, コウジ>
分 類 NDC8:571.4
書誌ID 2000015610
NCID BN01531664

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