<図書>
最新機能成膜プロセス技術 : エレクトロニクスにおける機能膜作製技術 / 逢坂哲彌,二瓶公志編集
サイシン キノウ セイマク プロセス ギジュツ : エレクトロニクス ニ オケル キノウマク サクセイ ギジュツ
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 広信社 |
出版年 | 1987.6 |
大きさ | 862p ; 27 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 |
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549/O73 | 9001273516 |
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書誌詳細を表示
一般注記 | 各章末:文献 |
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著者標目 | 逢坂, 哲彌 <オオサカ, テツヤ> 二瓶, 公志(1937-) <ニヘイ, コウジ> |
分 類 | NDC8:571.4 |
書誌ID | 2000015610 |
NCID | BN01531664 |