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<図書>
微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ

データ種別 図書
出版者 東京 : 東京電機大学出版局
出版年 1989.3
大きさ vi, 240p ; 21cm

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千住 一般
549.7/N39 8901256787
4501313307

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本文言語 日本語
著者標目 中野, 朝安(1923-) <ナカノ, トモヤス>
件 名 BSH:集積回路
分 類 NDC8:549.7
NDLC:ND386
書誌ID 2000017781
ISBN 4501313307
NCID BN03301767

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