<図書>
微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 東京電機大学出版局 |
出版年 | 1989.3 |
大きさ | vi, 240p ; 21cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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千住 一般 |
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549.7/N39 | 8901256787 |
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4501313307 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 日本語 |
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著者標目 | 中野, 朝安(1923-) <ナカノ, トモヤス> |
件 名 | BSH:集積回路 |
分 類 | NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
書誌ID | 2000017781 |
ISBN | 4501313307 |
NCID | BN03301767 |