＜図書＞
次世代ULSI製造のための表面反応プロセス / 菅原活郎, 前田和夫編集委員
ジセダイ ULSI セイゾウ ノ タメ ノ ヒョウメン ハンノウ プロセス
(New trigger series)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : サイエンスフォーラム |
| 出版年 | 1994.6 |
| 大きさ | 305p ; 31cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
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549.8/Su28 | 9401488102 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
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| 著者標目 | 菅原, 活郎(1942-) <スガワラ, カツロウ> 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ> |
| 件 名 | NDLSH:集積回路 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDLC:ND386 |
| 書誌ID | 2000035218 |
| NCID | BN10951795 |