<図書>
Ellipsometry for industrial applications / Karl Riedling
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Wien ; New York : Springer-Verlag |
出版年 | 1988 |
大きさ | xii, 99 p. : ill. ; 26 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 | : gw | 413.57/R38 | 8901193717 |
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321182040X |
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本文言語 | 英語 |
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一般注記 | Bibliography: p.[91]-95 Includes index |
著者標目 | *Riedling, Karl, 1948- |
件 名 | LCSH:Thin films -- Measurement
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LCSH:Ellipsometry -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7872.T55 DC19:621.3815/2/0287 |
書誌ID | 2000038138 |
ISBN | 038782040X |
NCID | BA03686557 |