＜図書＞
Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Academic Press |
| 出版年 | 1983 |
| 大きさ | viii, 151 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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534.93/St9 | 8901173305 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes index |
| 著者標目 | *Stuart, R. V. |
| 件 名 | LCSH:Vacuum technology LCSH:Thin films LCSH:Cathode sputtering (Plating process) |
| 分 類 | LCC:TP156.V3 DC19:621.5/5 |
| 書誌ID | 2000038689 |
| ISBN | 0126747806 |
| NCID | BA06945480 |