<図書>
Advanced processing of semiconductor devices : 23-25 March 1987, Bay Point, Florida / Sayan D. Mukherjee, editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating sponsor, the Metallurgical Society
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 797)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Bellingham, Wash., USA : SPIE |
出版年 | c1987 |
大きさ | x, 366 p. : ill. ; 28 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 | pbk. | 549.8/A16 | 8901178676 |
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089252832X |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
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一般注記 | Includes biblographies |
著者標目 | Mukherjee, Sayan D. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers Metallurgical Society (U.S.) |
件 名 | LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 |
書誌ID | 2000062409 |
ISBN | 089252832X |
NCID | BA13205280 |