<図書>
Laser chemical processing for microelectronics / edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood
(Cambridge studies in modern optics ; 7)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Cambridge [Cambridgeshire] ; New York : Cambridge University Press |
出版年 | 1989 |
大きさ | 172 p. : ill. ; 24 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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千住 一般 |
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549.8/L33 | 8901177801 |
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0521322545 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
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一般注記 | Includes bibliographies and index |
著者標目 | Ibbs, K. G. Osgood, R. M. |
件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Design and construction
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LCSH:Lasers -- Industrial applications 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
書誌ID | 2000062558 |
ISBN | 0521322545 |
NCID | BA05061582 |