<図書>
Silicon processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, National Bureau of Standards, and Stanford University, San Jose, Calif., 19-22 Jan. 1982 / D.C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 804)
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版者 | Philadelphia, Pa. (1916 Race St., Philadelphia 19103) : ASTM |
出版年 | c1983 |
大きさ | 559 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
東京西 2F一般 |
|
549.8/Si4 | 8901196975 |
|
|
|
書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
---|---|
一般注記 | Papers presented at the Symposium on Silicon Processing, held in San Jose, Calif., Jan 19-22, 1982 "ASTM publication code number (PCN) 04-804000-46." Includes bibliographical references and index |
著者標目 | Gupta, D. C. (Dinesh C.) ASTM Committee F-1 on Electronics United States. National Bureau of Standards Stanford University Symposium on Silicon Processing (1982 : San Jose, Calif.) |
件 名 | LCSH:Silicon -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Semiconductors -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7871.15.S55 DC19:621.3815/2 |
書誌ID | 2000062604 |
NCID | BA04320787 |