<図書>
VLSI metallization / edited by Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen, Gennady Sh. Gildenblat
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 15)
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版者 | Orlando ; Tokyo : Academic Press |
出版年 | 1987 |
大きさ | x, 480 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
東京西 2F一般 |
|
549.8/V63 | 8901203375 |
|
0122341155 |
|
書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
---|---|
一般注記 | Includes index |
著者標目 | Einspruch, Norman G. Cohen, Simon S. Gildenblat, Gennady Sh. |
件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Design and construction
全ての件名で検索
LCSH:Metallic films |
分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 s DC19:621.381/73 |
書誌ID | 2000062680 |
ISBN | 0122341155 |
NCID | BA01170156 |