<図書>
Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 71)
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
出版年 | c1986 |
大きさ | xvii, 535 p. : ill. ; 24 cm |
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配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 |
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549.9/Ma71 | 8901157902 |
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0931837375 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
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一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
著者標目 | Wittmer, Marc Stimmell, James Strathman, Michael Materials Research Society Symposium on "Materials Issues in Silicon Integrated Circuit Processing" (1986 : Palo Alto, Calif.) |
件 名 | LCSH:Microelectronics -- Materials -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/7 |
書誌ID | 2000062724 |
ISBN | 0931837375 |
NCID | BA03515168 |