<図書>
Advances in resist technology and processing III : 10-11 March 1986, Santa Clara, California / C. Grant Willson, chairman/editor
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 631)
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版者 | Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering |
出版年 | c1986 |
大きさ | vi, 346 p. : ill. ; 28 cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
東京西 1F一般 | : pbk. | 749.5/A16 | 8901178601 |
|
0892526661 |
|
書誌詳細を表示
本文言語 | 英語 |
---|---|
一般注記 | Includes bibliographies and index |
著者標目 | Willson, C. G. (C. Grant), 1939- Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
件 名 | LCSH:Photoresists -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TR940 DC19:686.2/325 |
書誌ID | 2000067871 |
ISBN | 0892526661 |
NCID | BA24022715 |