＜図書＞
半導体リソグラフィ技術 / 鳳紘一郎編著
ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 産業図書 |
| 出版年 | 1984.7 |
| 大きさ | 221p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/H81 | 8901044993 |
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4782856237 |
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