本文言語 |
日本語 |
別書名 |
その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication |
一般注記 |
欧文標題は標題紙裏による 付: 参考文献, 参考書 |
著者標目 |
吉田, 善一(1957-) <ヨシダ, ヨシカズ>
|
件 名 |
BSH:集積回路 BSH:電子光学 NDLSH:半導体 NDLSH:機械工作
|
分 類 |
NDC8:549.7 NDC9:549.7 NDC9:549.8 NDLC:ND371
|
書誌ID |
2000071031 |
ISBN |
4785325089 |
NCID |
BA35144601
|