<図書>
半導体立国 : 製造装置の明日を語る / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ リッコク : セイゾウ ソウチ ノ アス オ カタル
データ種別 | 図書 |
---|---|
出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
出版年 | 1996.11 |
大きさ | xi, 258p ; 19cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
千住 一般 |
|
549.8/N71 | 9801589848 |
|
4526039373 |
|
書誌詳細を表示
本文言語 | 日本語 |
---|---|
一般注記 | 監修:金山敏彦 |
著者標目 | 日本半導体製造装置協会 <ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ> |
件 名 | BSH:半導体 |
分 類 | NDC8:549.8 |
書誌ID | 2000071408 |
ISBN | 4526039373 |
NCID | BN15450516 |