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<図書>
自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編
ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1999.7
大きさ x, 307p ; 22cm

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千住 一般
549.8/Mu59 9904049245
456303620X

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本文言語 日本語
一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ>
尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ>
野崎, 眞次 <ノザキ, シンジ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000073780
ISBN 456303620X
NCID BA4214337X

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