<図書>
マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
データ種別 | 図書 |
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出版者 | 東京 : 工業調査会 |
出版年 | 2003.8 |
大きさ | 232p : 挿図 ; 21cm |
所蔵情報を非表示
配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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東京西 2F一般 |
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530/F67 | 0310671813 |
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4769371179 |
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書誌詳細を表示
本文言語 | 日本語 |
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一般注記 | 参考文献: 各章末 |
著者標目 | 藤田, 博之(1952-) <フジタ, ヒロユキ> |
件 名 | BSH:マイクロマシン |
分 類 | NDC8:530 NDC9:530 |
書誌ID | 2000081367 |
ISBN | 4769371179 |
NCID | BA6332701X |