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超精密マシンに挑む : ステッパー開発物語 / 吉田庄一郎著
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データ種別 図書
出版者 東京 : 日本経済新聞出版社
出版年 2008.2
大きさ 184p ; 20cm

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東京西 1F一般
289.1/Y86 0810795633
9784532313739

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本文言語 日本語
一般注記 年譜:巻末
著者標目 *吉田, 庄一郎 <ヨシダ, ショウイチロウ>
件 名 BSH:吉田, 庄一郎
BSH:半導体 -- 歴史  全ての件名で検索
分 類 NDC8:289.1
NDC9:289.1
書誌ID 4000010679
ISBN 9784532313739
NCID BA85065948

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