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<図書>
半導体研究 / 半導体研究振興会編
ハンドウタイ ケンキュウ

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
大きさ 冊 ; 27cm

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1 15巻 . 超LSI技術 ; 2 回路設計 / 西澤潤一編著 東京 : 工業調査会 , 1978.4
2 16巻, 19巻, 22巻 . 超LSI技術 ; 3, 6, 9 半導体プロセス / 西澤潤一編 [その1],その2,その3. - 東京 : 工業調査会 , 1979.8-1985.8
3 17巻 . 超LSI技術 ; 4 プロセス評価 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1981.6
4 18巻 . 超LSI技術 ; 5 LSIの将来技術 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1982.5
5 20 . 超LSI技術 ; 7 プロセスの基礎 / 西沢潤一編 東京 : 工業調査会 , 1983.8
6 21巻 . 超LSI技術 ; 8 プロセスの低温化 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1985.3
7 23 化合物半導体の結晶成長と完全性 / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1985.8
8 24巻 . 超LSI技術 ; 10 超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編 東京 : 工業調査会 , 1986.8
9 25, 27, 29, 31, 33, 35, 37, 39巻 化合物半導体の結晶成長と評価 / 西澤潤一編 [その1] - その8. - 東京 : 工業調査会 , 1986.8-
10 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻 . 超LSI技術 ; 11-24 デバイスとプロセス / 西澤潤一編 [その1] - その14. - 東京 : 工業調査会 , 1987.8-

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本文言語 日本語
一般注記 出版社変更:産報
著者標目 半導体研究振興会 <ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ>
書誌ID 1000001143
NCID BN00178314