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<図書>
薄膜化技術 / 早川茂, 和佐清孝著
ハクマクカ ギジュツ

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1982.12
大きさ viii, 222p ; 22cm

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千住 一般
549.8/H46 8901027733
4320084411
東京西 2F一般
549.8/H46 8901027725
4320084411

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本文言語 日本語
一般注記 各章末: 文献
著者標目 早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000015060
ISBN 4320084411
NCID BN01215121

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