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<図書>
半導体評価技術 / 河東田隆編著 ; 奥村次徳 [ほか] 執筆
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1989.2
大きさ viii, 330p ; 22cm

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千住 一般
549.8/Ka86 9101339852
478285627X
東京西 2F一般
549.8/Ka86 8901258890
478285627X

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本文言語 日本語
著者標目 河東田, 隆(1944-) <カトウダ, タカシ>
菅野, 卓雄(1931-) <スガノ, タクオ>
奥村, 次徳 <オクムラ, ツグノリ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 2000031213
ISBN 478285627X
NCID BN03233656

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