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<図書>
Ion implantation : science and technology / edited by J.F. Ziegler

データ種別 図書
2nd ed
出版者 Boston : Academic Press
出版年 c1988
大きさ ix, 498 p. : ill. ; 24 cm

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東京西 2F一般
428.1/L61 8901169543


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本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographies and index
著者標目 Ziegler, J. F.
件 名 LCSH:Ion implantation
分 類 LCC:QC702.7.I55
DC19:539/.6
書誌ID 2000038351
ISBN 0127806210
NCID BA04333450

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