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<図書>
半導体のための真空技術入門 : 現場で役立つ基礎と応用 / 宇津木勝著
ハンドウタイ ノ タメ ノ シンクウ ギジュツ ニュウモン : ゲンバ デ ヤクダツ キソ ト オウヨウ

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2007.2
大きさ 219p ; 21cm

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千住 一般
549.8/U96 0710745795
9784769312628

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本文言語 日本語
別書名 標題紙タイトル:Introduction to vacuum technology for semiconductor
異なりアクセスタイトル:真空技術入門 : 半導体のための : 現場で役立つ基礎と応用
一般注記 参考文献: p213
著者標目 宇津木, 勝 <ウツギ, マサル>
件 名 BSH:半導体
BSH:真空技術
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 4000002896
ISBN 9784769312628
NCID BA80963210

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