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<図書>
LSIの将来技術 / 西澤潤一編
LSI ノ ショウライ ギジュツ
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 18巻 . 超LSI技術 ; 5)

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1982.5
大きさ 8, 372p : 挿図 ; 27cm

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千住 一般
549.8/N87/18 8901063175


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本文言語 日本語
一般注記 執筆: 金井久雄ほか
各章末: 参考文献
著者標目 西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000012430
NCID BN00282611

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