＜図書＞
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 東京大学出版会 |
| 出版年 | 1984.3 |
| 大きさ | ix, 231p ; 22cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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431.86/Ki43 | 8901081136 |
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4130610473 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 一般注記 | 各章末: 参考文献 一般的参考書: p226 |
| 著者標目 | 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ> |
| 件 名 | NDLSH:薄膜 |
| 分 類 | NDC8:549 NDLC:ND371 NDC9:549.8 |
| 書誌ID | 2000012229 |
| ISBN | 4130610473 |
| NCID | BN00164488 |