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<図書>
プロセスの低温化 / 西澤潤一編
プロセス ノ テイオンカ
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 21巻 . 超LSI技術 ; 8)

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1985.3
大きさ 10, 331p, 挿図 ; 27cm

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千住 一般
549.8/N87/21 8901063191
4769310439

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本文言語 日本語
一般注記 執筆: 石川潔ほか
各章末: 参考文献
著者標目 西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
件 名 NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
書誌ID 2000012431
ISBN 4769310439
NCID BN00282757

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