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<図書>
ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15)

データ種別 図書
出版者 東京 : 培風館
出版年 1995.12
大きさ xi, 366p ; 22cm

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千住 一般
549.7/O29 9501520895
4563036153
東京西 2F一般
549.7/O29 9601530554
4563036153

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本文言語 日本語
別書名 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC8:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000060660
ISBN 4563036153
NCID BN13643698

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