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<図書>
Laser chemical processing for microelectronics / edited by K.G. Ibbs, R.M. Osgood
(Cambridge studies in modern optics ; 7)

データ種別 図書
出版者 Cambridge [Cambridgeshire] ; New York : Cambridge University Press
出版年 1989
大きさ 172 p. : ill. ; 24 cm

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千住 一般
549.8/L33 8901177801
0521322545

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本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographies and index
著者標目 Ibbs, K. G.
Osgood, R. M.
件 名 LCSH:Integrated circuits -- Design and construction  全ての件名で検索
LCSH:Lasers -- Industrial applications  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7874
DC19:621.381/73
書誌ID 2000062558
ISBN 0521322545
NCID BA05061582

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