＜図書＞
Silicon-on-insulator and buried metals in semiconductors : symposium held November 30-December 3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, James C. Sturm ... [et al.]
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 107)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1988 |
| 大きさ | xvii, 524 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
|
549.8/Si4 | 8901157951 |
|
0931837758 |
|
書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
| 著者標目 | Sturm, James C. Materials Research Society |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Ion implantation -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/22 |
| 書誌ID | 2000062602 |
| ISBN | 0931837758 |
| NCID | BA0514719X |