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<図書>
Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 71)

データ種別 図書
出版者 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年 c1986
大きさ xvii, 535 p. : ill. ; 24 cm

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東京西 2F一般
549.9/Ma71 8901157902
0931837375

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本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographies and indexes
著者標目 Wittmer, Marc
Stimmell, James
Strathman, Michael
Materials Research Society
Symposium on "Materials Issues in Silicon Integrated Circuit Processing" (1986 : Palo Alto, Calif.)
件 名 LCSH:Microelectronics -- Materials -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7874
DC19:621.381/7
書誌ID 2000062724
ISBN 0931837375
NCID BA03515168

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