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<図書>
Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA / editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 101)

データ種別 図書
出版者 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年 c1988
大きさ xv, 509 p. : ill. ; 24 cm

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千住 一般
549.9/L33 8901157928
0931837693

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本文言語 英語
一般注記 Includes bibliographies and indexes
著者標目 Ehrlich, Daniel J.
Higashi, Gregg S.
Oprysko, Modest Michael, 1957-
Materials Research Society
件 名 LCSH:Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Lasers -- Industrial applications -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Lasers in chemistry -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7874
DC19:621.381/7
書誌ID 2000062726
ISBN 0931837693
NCID BA05021227

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