＜図書＞
Ion implantation technology : proceedings of the Seventh International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, June 7-10, 1988 / edited under the responsibility of T. Takagi ... [et al.]
(Nuclear instruments & methods in physics research ; Section B. Beam interactions with materials and atoms ; v.37-38)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Amsterdam : North-Holland |
| 出版年 | 1989 |
| 大きさ | xx, 994 p. : ill. ; 27 cm |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
|
428.8/Ta29 | 0240066480 |
|
|
|
書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 別書名 | その他のタイトル:Ion implantation technology 7 |
| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
| 著者標目 | *International Conference on Ion Implantation Technology (7th : 1988 : Kyoto, Japan) Takagi, T. |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Congresses
全ての件名で検索
LCSH:Ion implantation -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductor doping -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC20:621.3815/2 |
| 書誌ID | 2000079150 |
| NCID | BA36830910 |