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<図書>
薄膜のプロセッシング / 井上知泰著
ハクマク ノ プロセッシング
(エレクトロニクスと材料 / 犬塚直夫, 伊藤糾次編 ; 5)

データ種別 図書
出版者 東京 : 早稲田大学出版部
出版年 1990.9
大きさ vii,125p ; 21cm

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千住 一般
549.8/I57 9101327949
4657909363

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本文言語 日本語
著者標目 井上, 知泰(1947-) <イノウエ, トモヤス>
犬塚, 直夫(1938-) <イヌズカ, タダオ>
伊藤, 糾次(1922-) <イトウ, タダツグ>
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549.8
NDC8:549
書誌ID 2000019414
ISBN 4657909363
NCID BN05547666

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