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<図書>
はじめての半導体ナノプロセス / 前田和夫著
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
(ビギナーズブックス ; 32)

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 2004.2
大きさ 239p ; 21cm

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千住 一般
549.8/Ma26 0410685044
4769312253

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本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 前田, 和夫(1935-) <マエダ, カズオ>
件 名 BSH:半導体
BSH:ナノテクノロジー
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000082868
ISBN 4769312253
NCID BA6581000X

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