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<図書>
製造プロセス編 / 角南英夫著
セイゾウ プロセスヘン
(電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学)

データ種別 図書
出版者 東京 : コロナ社
出版年 2006.8
大きさ xii, 189p ; 26cm

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千住 一般 製造プロセス編 549.7/D59 0610727166
4339018872

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本文言語 日本語
別書名 奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
一般注記 引用・参考文献: p[177]-186
著者標目 電子情報通信学会 <デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ>
角南, 英夫 <スナミ, ヒデオ>
件 名 NDLSH:集積回路
分 類 NDC9:549.7
書誌ID 2000089183
ISBN 4339018872
NCID BA81206403

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