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<図書>
SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1987.10
大きさ 281p ; 22cm

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千住 一般
549.8/F93 8901045024
4782856253
東京西 2F一般
549.8/F93 9001267450
4782856253

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本文言語 日本語
著者標目 古川, 静二郎 <フルカワ, セイジロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
NDLSH:シリコン(半導体)
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
書誌ID 2000015589
ISBN 4782856253
NCID BN01517109

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