＜図書＞
半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 産業図書 |
| 出版年 | 1992.10 |
| 大きさ | xiii, 394p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 千住 一般 |
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549.8/To45 | 0540087616 |
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4782856288 |
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