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<図書>
クリーンルームと機器・材料
クリーン ルーム ト キキ ザイリョウ
(CMCテクニカルライブラリー)

データ種別 図書
普及版
出版者 東京 : シーエムシー
出版年 2001.2
大きさ vii, 284p ; 21cm

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東京西 2F一般
528.2/Ku65 0640096616
4882317141

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本文言語 日本語
別書名 標題紙タイトル:Equipment and materials for clean room
一般注記 「クリーンルーム技術と材料」 (1990年刊) の普及版
件 名 BSH:空気調和
分 類 NDC8:528.2
NDC9:528.2
書誌ID 2000088286
ISBN 4882317141
NCID BA51210208

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