＜図書＞
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| 出版年 | 1986.8 |
| 大きさ | iv, 202, iiip ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
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| 東京西 2F一般 |
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427.6/Ko78 | 8901052459 |
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4526020656 |
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| 研究室 |
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427.6/Ko78 | 9201384097 |
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4526020656 |
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