＜図書＞
Rapid thermal processing of electronic materials : symposium held April 21-23, 1987, Anaheim California, U.S.A. / editors, Syd R. Wilson, Ronald Powell, D. Eirug Davies
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 92)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
| 出版年 | c1987 |
| 大きさ | xvii, 485 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/R17 | 8901170087 |
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0931837596 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographies and indexes |
| 著者標目 | Wilson, Syd R. Powell, Ronald A. Davies, D. Eirug Materials Research Society Materials Research Society. Meeting (1987 : Anaheim, Calif.) Symposium on "Rapid Thermal Processing of Electronic Materials" (1987 : Anaheim, Calif.) |
| 件 名 | LCSH:Semiconductors -- Heat treatment -- Congresses
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LCSH:Semiconductor doping -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 |
| 書誌ID | 2000062568 |
| ISBN | 0931837596 |
| NCID | BA0147740X |