＜図書＞
Emerging semiconductor technology : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, San Jose, CA, 28-31 Jan. 1986 ; Dinesh C. Gupta and Paul H. Langer, editors
(ASTM special technical publication ; 960)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Philadelphia, PA : American Society for Testing and Materials |
| 出版年 | c1987 |
| 大きさ | 704 p. : ill. ; 24 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.8/E52 | 8901159072 |
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0803104596 |
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| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing "ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46." Includes bibliographies and indexes |
| 著者標目 | Gupta, D. C. (Dinesh C.) Langer, Paul H. ASTM Committee F-1 on Electronics Symposium on Semiconductor Processing (4th : 1986 : San Jose, Calif.) |
| 件 名 | LCSH:Semiconductor industry -- Congresses
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LCSH:Semiconductors -- Design and construction -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TK7871.85 DC19:621.3815/2 |
| 書誌ID | 2000062391 |
| ISBN | 0803104596 |
| NCID | BA04332527 |