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<図書>
Silicon processing : a symposium / sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, National Bureau of Standards, and Stanford University, San Jose, Calif., 19-22 Jan. 1982 / D.C. Gupta, editor
(ASTM special technical publication ; 804)

データ種別 図書
出版者 Philadelphia, Pa. (1916 Race St., Philadelphia 19103) : ASTM
出版年 c1983
大きさ 559 p. : ill. ; 24 cm

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東京西 2F一般
549.8/Si4 8901196975


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本文言語 英語
一般注記 Papers presented at the Symposium on Silicon Processing, held in San Jose, Calif., Jan 19-22, 1982
"ASTM publication code number (PCN) 04-804000-46."
Includes bibliographical references and index
著者標目 Gupta, D. C. (Dinesh C.)
ASTM Committee F-1 on Electronics
United States. National Bureau of Standards
Stanford University
Symposium on Silicon Processing (1982 : San Jose, Calif.)
件 名 LCSH:Silicon -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Semiconductors -- Congresses  全ての件名で検索
分 類 LCC:TK7871.15.S55
DC19:621.3815/2
書誌ID 2000062604
NCID BA04320787

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