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<図書>
薄膜作製ハンドブック / 応用物理学会薄膜・表面物理分科会編
ハクマク サクセイ ハンドブック

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1991.3
大きさ xiii, 380p ; 27cm

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千住 参考
549/O95 9101321470
4320084934 禁帯出
研究室
549/O95 9501505326
4320084934

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本文言語 日本語
著者標目 応用物理学会薄膜・表面物理分科会 <オウヨウ ブツリ ガッカイ ハクマク ヒョウメン ブツリ ブンカカイ>
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
書誌ID 2000032483
ISBN 4320084934
NCID BN06104150

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