＜図書＞
Optical microlithographic technology for integrated circuit fabrication and inspection : 2-3 April 1987, The Hague, The Netherlands / Harry L. Stover, Steven Wittekoek, chairs/editors ; organized by ANRT--Association nationale de la recherche technique ... [et al.]
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 811)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Bellingham, Wash., USA : SPIE-the International Society for Optical Engineering |
| 出版年 | c1987 |
| 大きさ | x, 211 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 | pbk. | 549.8/O69 | 8901178726 |
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089252846X |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 著者標目 | Stover, Harry L. Wittekoek, Steven Association nationale de la recherche technique |
| 件 名 | LCSH:Integrated circuits -- Design and construction -- Congresses
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| 分 類 | LCC:TK7874 DC19:621.381/73 |
| 書誌ID | 2000062575 |
| ISBN | 089252846X |
| NCID | BA1243085X |