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<図書>
デバイスとプロセス / 西澤潤一編
デバイス ト プロセス
(半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻 . 超LSI技術 ; 11-24)

データ種別 図書
出版者 東京 : 工業調査会
出版年 1987.8-
大きさ 冊 ; 27cm

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千住 一般 [その1] 549.8/N87/26 8901063233
4769310617
千住 一般 その2 549.8/N87/28 9001267302
4769310684
千住 一般 その4 549.8/N87/32 9101327618
4769310838
千住 一般 その5 549.8/N87/34 9201369122
4769310889

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本文言語 日本語
一般注記 各章末: 参考文献
著者標目 西澤, 潤一(1926-) <ニシザワ, ジュンイチ>
半導体研究振興会 <ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
NDLSH:集積回路
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
NDLC:ND386
書誌ID 2000002931
ISBN 4769310617
NCID BN01703089

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