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<図書>
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)

データ種別 図書
出版者 東京 : 共立出版
出版年 1987.11
大きさ iv, 99p ; 19cm

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東京西 2F一般
578/Ko11/3 8901030000
4320042271

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本文言語 日本語
著者標目 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件 名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
書誌ID 2000029656
ISBN 4320042271
NCID BN01734322

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