＜図書＞
Optical microlithography VI : 4-5 March 1987, Santa Clara, California / Harry L. Stover, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
(Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering ; v. 772)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | Bellingham, Wash., USA : SPIE |
| 出版年 | c1987 |
| 大きさ | vi, 292 p. : ill. ; 28 cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 利用注記 | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 東京西 2F一般 |
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549.9/O69 | 8901220353 |
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0892528079 |
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書誌詳細を表示
| 本文言語 | 英語 |
|---|---|
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:Optical microlithography 6 異なりアクセスタイトル:Optical microlithography six |
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
| 著者標目 | Stover, Harry L. Society of Photo-optical Instrumentation Engineers |
| 件 名 | LCSH:Microlithography -- Congresses
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LCSH:Integrated circuits -- Very large scale integration -- Congresses 全ての件名で検索 |
| 分 類 | LCC:TR940 DC19:621.381/74 |
| 書誌ID | 2000062721 |
| ISBN | 0892528079 |
| NCID | BA03823068 |